数据中心400G-DR4/FR4硅光混合集成芯片;数据中心800G-DR4/FR4硅光混合集成芯片;硅基集成高速电光模拟调制器芯片
以硅基光电子技术为核心,基于CMOS工艺所研发的硅光芯片。片上集成基于马赫曾德干涉仪的低驱压高带宽调制器(MZM),在电场的影响下使波导的折射率发生变化,从而实现光的相位调制,通过马赫曾德干涉仪实现相位调制到强度调制的转换。采用芯片共有两种输入形式1)1分4形式,即输入端通过两级3dB分束器将一路激光分成四路进入四个调制器中;2)独立4路形式,即4路调制器分布连接四路激光器。
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FR4光芯片中,光口侧采用4路100Gbps Mach-Zehnder调制,
光分路器晶圆采用平面光波导技术,在石英衬底上通过光刻、刻蚀等技术来实现光分路功能。通过粘盖板、切割、磨抛等技术可以得到高可靠性的光分路器芯片。
波分复用器是一种可以将信号分成多个单波长信号或将多个单波长信号合成一路信号的器件。它可以将多个波长复用在一根波分复用器光纤中,大大增加光网络的传输容量。AWG具有高的波长选择性、低插入损耗和尺寸紧凑的优点,被广泛应用在DWDM系统和波长路由系统的光合波和分波。
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苏州易缆微半导体技术有限公司